| 原産地: | 中国(本土) | 銘柄: | hyvac | 条件: | 新しい | モデル番号: | JGP4 | 保証: | 一年 | 認証: | iso9001: 2008 | 基質: | 半導体フィルム、 dielectricalフィルム | コーティング: | 真空メッキ | 提供される売り上げ後のサービス: | 利用できるエンジニア機械類を海外に整備するため | アプリケーション: | 実験室薄膜析出 | 到達真空: | 6.6X10-5 pa | 番号のターゲット: | 4 | スパッタリング商工: | 600 × 600ミリメートル | 長方形ターゲット: | 430 × 130ミリメートル |
包装
| 包装: | standrad |
主な用途:
沈着の半導体フィルム、dielectricalフィルム、と金属フィルム用生産または研究目的。
仕様:特別なデザインが可能です
1. ultimate真空: 6.6 × 10-5pa
2.スパッタリングチェンバース:垂直stamd &キャップ;のような構造、ダブルレイヤード用水冷、外形寸法600 × 600ミリメートル
3. four長方形ターゲット:外形寸法430 × 130ミリメートル
4. motorizedサンプル革命と旋光で調整可能な速度;最高サンプル温度300°c
5. eachターゲットは別途制御、を働かせることができる独力。
6. both acとrfスパッタリングで実現することができる5kw最大電力。
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