• マグネトロン スパッタリング システム用研究または小規模生産-
    商品番号: 11577625
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    商品の詳細

    原産地: 中国(本土) 銘柄: hyvac モデル番号: JGP3
    到達真空: 3X10-5Pa 真空チャンバー: id 400 × 300 ミリメートル アプリケーション: 沈着薄膜
    番号の ターゲット: 3 ターゲット ターゲット ソース: マグネトロン ターゲット

    包装

    包装: standrad

    アプリケーション:

     

    超真空3-targetマグネトロンスパッタリングシステム用に設計され沈着の金属フィルム、dielectricalフィルム、 と他の研究室研究上の新しい材料。

     

    仕様:

     

    特別デザインが可能です。

     

    超真空

    3X10-5Pa

    真空チャンバー

    (id) 400 × 350ミリメートル、

    サンプルホルダー

    サンプルホルダーは設置がアッパーカバーの真空チャンバ、

    をサイズのサンプルはid20、 と行くことができ上下下手動またはモータドライブ、

    とは回転式で10-60回転/分。

    加熱温度

    500 & #8451;、 プログラムのcontroled

    サイズのターゲット

    id 60、

    をターゲットは手動で調整相対にサンプル以内40ミリメートル移動距離

    電力供給

    二組の500ワットdc電源とは500ワットrfパワーサプライ

    *輸入質量流量計は装備用事前cis

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    真空炉

    真空tungston電極アーク溶融炉用耐火metels

    超高圧力と温度真空焼結炉

    真空マグネトロンタングステン電極アーク溶融炉

    高温真空管炉
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    圧縮強度試験機

     

    真空アセンブリ:

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    をngleバルブ

    磁気derict回転シャフト

    磁気サンプル転送装置

    mbe knudsen蒸発携帯

    超真空フランジ

    セラミック貫通コンデンサ

    超真空溶接さベローズ
    超真空highprecision四-フリーダムmunipulator

    超真空ゲートバルブ

    超真空シール銅ガスケット

    4つの自由をサンプルmunipulator

    超真空highprecision四-フリーダムmunipulator
    マルチ-フリーダムサンプルテーブル

     

    アクセルaccembly

    角度の解決photoemission分光ビーム-ラインデバイス

    beamstopper

    ファラデーカップ

    視野スクリーンターゲット

    feedthrougs

    アクセルプローブ

    rf空洞で重いイオンcycloron

    飛行時間型プローブ

     

    医療

    プライマリコリメータ重いイオンビーム

    リッジフィルター用ヘビー-イオンビーム治療

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