製品情報
原産地: シンガポール | 銘柄: bondatek | サイズ1: 3×3×0.060インチ |
サイズ2: 4×4×0.060/0.090インチ | サイズ3: 5×5×0.090インチ | サイズ4: 6×6×0.120インチ |
サイズ5: 7×7×0.120インチ |
包装
包装: で15個1真空密封された硬質カセット、 黄色の光の下で唯一のオープン。 |
仕様
クロムブランクフォトマスク基板: ソーダ石灰/クォーツサイズ: に" 27" 厚さ: 0.5mm6mmまで
フィルム仕様
クロム | 真空蒸着された、 dcスパッタ、 クラス100環境 | |
厚さ/光学密度 | 標準: 1000・aring;& plusmn; 8%/o。 d。 =3.0& plusmn; カスタム0.2@5450nmのように厚さ・マイクロ; m | |
反射率 | クロム | |
低 | <12%@400nmの | |
ミッド | <33%@400nm | |
高 | <55%@400nm | |
プロセス | 従来の湿式ですべてetchableエッチング装置。 プラズマグレードにお勧めドライエッチング装置 | |
をフォトレジスト | シプリー18001500またはa〜zまで濾過0.2ミクロン使用の時点で。 広く使われているすべて正と負の光学とe- ビームレジスト利用可能 |