• クロムフォトマスクブランク
    商品番号: 5848078
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    商品の詳細

    製品情報

    原産地: シンガポール 銘柄: bondatek サイズ1: 3×3×0.060インチ
    サイズ2: 4×4×0.060/0.090インチ サイズ3: 5×5×0.090インチ サイズ4: 6×6×0.120インチ
    サイズ5: 7×7×0.120インチ

    包装

    包装: で15個1真空密封された硬質カセット、 黄色の光の下で唯一のオープン。

    仕様

    クロムブランクフォトマスク基板: ソーダ石灰/クォーツサイズ: に" 27" 厚さ: 0.5mm6mmまで

    フィルム仕様

    クロム真空蒸着された、 dcスパッタ、 クラス100環境
    厚さ/光学密度標準: 1000・aring;& plusmn; 8%/o。 d。 =3.0& plusmn; カスタム0.2@5450nmのように厚さ・マイクロ; m
    反射率 クロム
    <12%@400nmの
    ミッド<33%@400nm
    <55%@400nm
    プロセス従来の湿式ですべてetchableエッチング装置。 プラズマグレードにお勧めドライエッチング装置
    をフォトレジストシプリー18001500またはa〜zまで濾過0.2ミクロン使用の時点で。 広く使われているすべて正と負の光学とe- ビームレジスト利用可能

     


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