包装
| 包装: 40gpコンテナ |
仕様
マグネトロンスパッタリング真空コーティングマシンが更新されたスパッタリングコーティング技術の利点と高スパッタリング
| マグネトロンスパッタリング真空コーティングマシンが更新されたスパッタリングコーティング技術の利点と高スパッタリング速度、 低い温度、 安定した性能とシンプルな操作、 等。この装置によって、 金属膜、 虹色フィルム、 金色のフィルムで被覆することができるスパッタリングに蒸発金属、 プレ- 処理されたプラスチック、 ガラス、 マイカやセラミック製品。ちょうど 反応染めを使用して様々なターゲットをガスインフレを実現することができ、 異なるフィルム。 それはインストールすることもでき面付可動ターゲットや異なる目的中央固定用ターゲット。真空チャンバーダブルで- ドア構造は、 超コーティングや基板より効率的にロードすると生産性が非常に隆起した。 それは作るための利用できる垂直または水平方向のタイプごとにマシンをお客様の要望とニーズ。 |
それは主に技術を統合しますで、 mfマグネトロンスパッタリングや電気アークイオン蒸発、 を組み合わせること、 イオン源とパルスバイアス電圧。 それは完全なオートメーション制御塗膜。 それが広く使用されているウォッチバンドは、 時計のケース、 モバイルシェル、 ハードウェア、 食器、 等。 それはコート錫、 チック、 ticntiain、 crn、 cu、 au、 al2o3と他の装飾的なフィルム。
技術的なパラメータ:
モード 寸法 | Jtl-900 | Jtl-1100 | Jtl-1300 | Jtl-1600 |
・φ; 900*1000mm | ・φ; 1100*1000mm | ・φ; ミリメートル1300*1200 | ・φ; ミリメートル1600*1300 | |
コーティングモードとメインconfirguration | 3電気- arc+2ペア平面の長方形のカソード | 6電気- arc+2cathode+aペアペアの円筒平面の長方形のカソード | 6電気- arc+4cathode+aペアペアの円筒平面の長方形のカソード | 8電気- arc+8cathode+aペアペアの円筒平面の長方形のカソード |
アプリケーション | 金属装飾的なコーティング | |||
のフィルムタイプ | 金属膜、 誘電体フィルム、 化合物薄膜、 反応フィルム、 ムーティ- レイヤ機能フィルム | |||
動力源 | 電気アーク電源は、 電源dcマグネトロン、 mfマグネトロン電源。 パルスバイアス電圧電源。 イオン電源の電源供給。 | |||
プロセスガス制御 | 品質流量計+電磁気セラミックバルブ | |||
真空チャンバー構造 | 垂直単( サイド) ドア、 助詞のポンプシステム、 double水- 冷却 | |||
真空システム | 分子ポンプ( 拡散ポンプ) +roots+mechanical( 8.0*10ポンプポンプ-4Pa) | |||
排気速度 | 揚水時間15分未満、 を大気圧から310- 3pa以下 | |||
工作物焼成温度 |
ために常温350センチ- 度pid制御、 輻射加熱。 | |||
工作物運動モード | 公共回転周波数制御: 0から20回転毎分 | |||
測定モード | ナンバーディスプレイ複合真空計: への大気から1.0*10-5pa | |||
制御モード | 完全自動化制御システムpc+plc/pc+hmi | |||
備考 | 私達ができるの寸法を設計に応じて機器お客様に特別な技術の要件。 | |||
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