| 電圧: | 380v | 原産地: | 中国(本土) | 銘柄: | vakia | 条件: | 新しい | モデル番号: | Vakia- src- 1400 | 重量: | 4t | 力(W): | 75キロワット | タイプ: | コーティング製造ライン | 保証: | 1年 | 認証: | :2008 | 次元(L*W*H): | 4x4x2m | 基質: | 鉄鋼 | コーティング: | 真空メッキ | 提供される売り上げ後のサービス: | 利用できるエンジニア機械類を海外に整備するため | チャンバーサイズ: | 14001600mm | 揚水時間( 無- 負荷): | への大気から8.010- 3pa≤15min | 究極の真空: | 8.010- 4 | 水の圧力: | ≥0.2mpa | 圧縮空気の圧力: | 0.5-0.8mpa | 梱包材: | 燻蒸と木製ケース |
包装
| 包装: | 燻蒸と木製ケース。 |
高真空マグネトロンスパッタリング/蒸着真空コーティングマシン
高真空
1.機能:
蒸発と一緒にマグネトロンスパッタリング
垂直二国間オープン- ドア、 のためのより効率的コーティングとsubsratesローディング
二つの特性: 高効率でresitanceと高光度の蒸発、
強力な接着力とコンパクトさ
2.アプリケーション:
プラスチック、 セラミック、 archiecture、 おもちゃ作り、 エレクトロニクス、 3c
3.技術的パラメータ:
| モデルとの技術的なパラメータvakia- srcシリーズ真空マグネトロンスパッタリングや蒸着機 | ||||||
| 性能/model | Vakia- src- 900 | Vakia- src- 1000 | Vakia- src- 1200 | Vakia- src- 1400 | Vakia- src- 1500 | Vakia- src- 1800 |
| 真空チャンバーの構造 | 縦の二重扉、 垂直シングルドア、 水平単ドアとリア真空取得システム | |||||
| 電源のタイプ | 抵抗蒸発電源、 イオン衝撃電源、 フィラメント電源、 パルスバイアス電源、 電源dcマグネトロン、 中間周波数マグネトロン電源を供給する | |||||
| コーティングチャンバーのサイズ | ø 900*h1100mm | ø 1000*h1200mm | ø 1200*h1500mm | ø 1400*h1800mm | ø 1,500*h1900mm | ø 1800*h2000mm |
| 材料のコーティングチャンバー | 高- 品質のステンレス鋼 | |||||
| 限界真空 | 8.0*10- 4pa | 8.0*10- 4pa | 8.0*10- 4pa | 8.0*10- 4pa | 8.0*10- 4pa | 8.0*10- 4pa |
| ポンプ- ダウンタイム( ノー- 負荷) | ポンプ、 大気中に5.0*10- 2pa・ル; 8分 | |||||
| 真空取得システム | 拡散ポンプまたは分子ポンプ+ルーツポンプ+機械式ポンプ+保持ポンプ( に特定のモデル構成することができお客様のご要望に応じて) | |||||
| コーティングモード | 蒸発コーティング+マグネトロンスパッタコーティング | |||||
| フィルムタイプ | の金属膜、 半透明のフィルム、 非導電性フィルム、 電磁波シールドフィルム、 誘電体膜など | |||||
| マグネトロンターゲット型 | 長方形のマグネトロンターゲット、 円筒形のマグネトロンターゲットとツインマグネトロンターゲット | |||||
| マグネトロンの供給電力とマグネトロンターゲットの数 | に合わせて選択して異なるコーティングプロセスとお客様のご要望 | |||||
| 工作物の直径最大値の上限を回す | 6-shaft260mm | 6- シャフト& oslash; 280ミリメートル8- シャフト& oslash; 260ミリメートル | 6- シャフト& oslash; 360ミリメートル8- シャフト& oslash; 280ミリメートル | 6- シャフト& oslash; 420ミリメートル8- シャフト& oslash; 350ミリメートル | 6- シャフト& oslash; 460ミリメートル8- シャフト& oslash; 380ミリメートル | 6- シャフト& oslash; 560mm8- シャフト& oslash; 460ミリメートル |
| 蒸発電極 | 標準構成2個 | |||||
| 蒸発パワー | 15キロワット | 15キロワット | 20キロワット | 25kw | 30kw | 35キロワット |
| 総電力 | 50キロワット | 50キロワット | 65kw | 85キロワット | 100キロワット | 135キロワット |
| プロセスガス | 2- パスまたは3- パスプロセスガス流量制御およびディスプレイシステム、 選択的な自動ガス発生システム | |||||
| 冷却モード | 水の循環冷却モード、 または工業用水冷却水塔のクーラーや深い冷却システム。( お客様からご提供いただいた) | |||||
| 工作物のターンテーブルの回転モード | 遊星革命とオートローテーション、 可変周波数の速度調整( 制御可能なと調節可能な) | |||||
| 制御モード | Manual/自動統合モード、 タッチ画面操作、 またはコンピュータ制御plc | |||||
| アラームおよび保護 | 水不足アラーム、 電流·過電圧、 開回路および関連するその他の異常なo条件保護対策を実行する | |||||
| 設備エリア | W3m*l3m | W3m*l3m | W3.5m*l4m | W5m*l5m | W6m*l6m | W6m*l8m |
| その他の技術的パラメータ | 水圧・ge; 0.2mpa、 水温・ル; 25・度; c、 空気の圧力0.5-0.8mpa | |||||
| 備考 | コーティング装置の具体的な構成を設計することができるプロセスの要件に応じてコーティング製品の | |||||
4.サンプル
