| 原産地: | 中国(本土) | 銘柄: | CORDER | モデル番号: | URE-2000B |
包装
| 包装: | カートンのパッキング |
アライメント計測器ure-2000bマスクアライナ
365nmの露光光、 1000wハイ- 電圧水銀灯。
と顕微鏡で整列させるbi- 接眼レンズとbi- viewfields。 顕微鏡を力を持っての最大375倍の拡大の3セットを組み合わせた接眼レンズと対物レンズ。 アライメント顕微鏡の焦点と63ミリメートル25mmの間で変えることができ。 単一または両方の視野分野眼で観察することができ。
メインシステムによって制御されシングル- チップシステム、 動作させることができ、 コントロールパネルで。
Xyステージの向きに沿って移動することができマスクと一緒にとウェハ( 時オフ真空。)。 それはまた、 真空- ロックこの種の動き( 時真空上。)。 ウェハの向きに沿って移動することができxyzへの相対的なマスク
露光領域:100mm・回; 100mm( または110ミリメートル・回; 110ミリメートル)
解像度:1.0・ムー; メートル( を持つ正phootresist2の厚さ・ムー; m)
アライメント精度:・ル;& plusmn; 0.8・ムー; m
マスクサイズ:2.5インチ、 3インチ、 4インチ
被曝の均一性を:・ル;& plusmn; 3.5%f100mm以内に
サンプルサイズ:ミリメートルf15-f100
試料の厚さ:0.1mm-6mm( can15に拡大するmm)
