パラメータのモデルとmaintechnicalvakia- oecシリーズ真空用光コーティング機

性能/model

Vakia- oec- 900

Vakia- oec- 1200

Vakia- oec- 1350

真空チャンバーのサイズ

900*h1050mm

1200*h1250mm

1350*h1450mm

フロッククランプ

単一ディスクワークアーチ、 最大限に会議のお客様・rsquo; 均一性に関する要件、 回転: r5月30日/min、 段変速スピード

1.シングルアーチワークディスク、 最大限に会議のお客様・rsquo; 均一性に関する要件、 回転: 530r/min、 段変速スピード
2.アーチ三つの- ワークディスク、 遊星革命とオートローテーション、 会議のお客様・rsquo; 生産量に関する要件、 回転: 5-30r/min、 段変速スピード

真空システム

Kt-600拡散ポンプ、 zj-300ルーツポンプ、 2x-70機械式ポンプ、 ロータリーポンプ2x-8,304ステンレス鋼配管

Kt-800拡散ポンプ、 zj-600ルーツポンプ、 2x-70機械式ポンプ、 ロータリーポンプ2x-8,304ステンレス鋼配管

Kt-800拡散ポンプ、 zj-600ルーツポンプ、 2x-70機械式ポンプ、 2x-25ロータリーポンプ、 304ステンレス鋼配管

真空無制限: よりも優れて6*10-4pa

を装備抗- 乱デバイス、 安全インターロックの設計、 オプションの手動または自動

暖房システム

加熱モードの加熱管、 pid制御、 最大: 350・度; c& plusmn; 1.5・度; c

作動ガス処刑

ガスの質量コントローラまたは手動細かいチューニングガス充填弁

真空イオン衝撃

Dc3kvの、 ロッド0.6kwカソード( のためのコーティングの前に自動的にクリーニングワーク) とオプションのガスイオン源

蒸発源( オプション)

1.電子銃: 6キロワット、 高電圧4kv-10kv、 調節可能な。 位置決めスキャニング、 三角波スキャニング、 円形のスキャニング、 スパイラルスキャニング、 方形波スキャニング、 正弦波、 良好なビームフォーカシングスポット、 高い位置決め精度と再現性良いスキャン

2.るつぼ: 6- 穴・φ; 38*20のるつぼまたは4- 穴・φ; アーク38*20プラスとのるつぼを穴の中心の弧の長さ87( 蒸発のために持つ材料大量消費と低融点) や穴・φ; 48*18るつぼ

イオン源( オプション)

Kva1.5ホールの清掃に用いるイオン源を電気めっきやアシストのメッキで前に電気めっきプロセス、 と有利な屈折率の改善のためのフィルム、 硬さ、 コンパクトさと密着性。

めっき制御システム( オプション)

1.結晶コントローラ: ストア1〜99層自動コーティングプロセス、 99プログラムデータのタイプ、 精度: 0.5$+1a固定エラー。

2.光コントローラを採用していマルチ- 波長エンドポイントフルスペクトル解析技術、 フィルムチップを決定し分析することによって監視370-870mm屈折率( または反射率) 曲線、 高い制御精度を持っていことができ、 また単一波長制御を採用してい、 自動制御と手動制御。 追加のソフトウェアはフィルムmacileod計算高い集積度。

3.光コントローラにマッチします結晶コントローラコーティングの要件を満たすために高精度と再現性の高い、 上位コンピュータや自動制御を実現するため。

4.国内のライトコントローラ: 波長330-870、 調節可能な、 精度:& plusmn; 1.5nm。