ブランド：スウェージロック/スウェージロック
種類：6LVV-ALD3TFR4-P-CV
材料：
接続タイプ：メタルガスケットVCR®
構造：式ハウジング
呼び径：6.35
単位：mm 、媒体：高い腐食性化学伝達物質
ドライブ：空気圧
圧力環境：低圧力
動作温度：高温
基準：アメリカの標準のフローの
方向：単方向

スウェージロックをLockeは 研究 計測器 医薬品 石油・ガス 電気 石油化学製品 代替燃焼用の高品質流体システムソリューションの世界的な開発者およびプロバイダーですそして 半導体業界では 製品 アセンブリおよびサービスを提供しています。スウェージロックの製造 研究開発 世界70カ国以上でサービスとサポートを提供するために 200の以上の許可販売とサービスセンターをサポートするための技術支援および物流システム。

スウェージロックは 450ミリメートルの半導体ウエハ（使用される半導体集積回路の生産CUPに応じて 450施設のコモンウェルス（F450C）の創設を発表し 世界の10社の主要企業の一つであります基板材料）複雑な施設とインフラストラクチャの課題に直面しています。 450ミリメートル施設コンソーシアム（F450C）は ナノスケール科学エンジニアリング（CNSE） ニューヨークの協力の州立大学の最初のプロジェクトです。次世代の450mmコンピュータチップ処理設備の設計と施工における世界的リーダーです。

スウェージロックスウェージロック原子層堆積（ALD）[1]は ダイヤフラム弁と

6LVV- ALD3TFR4-P-CV説明：316L VIM-VAR ALDバルブ 1/4インチメスVCR SC-01 NC熱アクチュエータ

電磁パイロット弁と

の仕様概要
体材料316L VIM-VAR [2]
1個のコネクタにおける標準1/4 <。 > 1接続ねじVCR＆REGを入力し ネジ接続VCR＆REG ;.金属ガスケット面シール継手の

2タイプ

超高純度洗浄プロセスにおける1/4金属ガスケット面シール継手

2接続仕様プロセス仕様書（SC-01）

【1】原子層堆積とは何ですか？原子層堆積法とは 基板表面に単分子層として物質を堆積させる方法である。もともとフィンランドの科学者によって提案された多結晶蛍光体のZnS使用：MnおよびアモルファスAl 2 O 3の絶縁膜の開発が これらは フラットパネルディスプレイ用材料です。このプロセスは 複雑な表面化学プロセスおよび低い堆積速度を必要とするため 1980年代後半まで実質的なブレークスルーを達成しなかった。しかし 1990年代半ばで この技術では 人々の関心は 主にマイクロエレクトロニクスの発展に 強化し続け デバイスのアスペクト比が継続している間にディープサブミクロンサイズのチップ技術は デバイスや材料が低下し続ける必要があり増加するので 材料の厚さは数ナノメートル[5~6]のオーダーの値を減らすために使用されます。単原子層を順次堆積さこうして原子層堆積技術の利点が明らかに 均一な厚さおよび一貫性に極めて優れた堆積層が現れるが 遅い堆積速度の問題は重要ではありません。原子層堆積原理および化学 原子層堆積および他の関連技術に関する以下の議論原子層堆積装置 原子層堆積および原子層堆積技術の比較。

[2] 316L VIM-VARとは何ですか？

316L米国グレード 差は316ステンレス鋼 低炭素 0.03％以下であり 良好な耐食性及び溶接性をもたらしています。 VIM-VARは 真空誘導溶融 - 真空アークリメンタル真空誘導融解 - 真空アーク再溶解の略語です。二重真空製錬プロセスは 超高純度を必要とする用途に適合するように材料の高度の純度を保証する。

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原子層堆積（ALD）のの厳しい要件を満たすために バルブのスウェージロックALDシリーズ以下の利点があります：バルブブレーキ速度が非常に速く 制動時間が5秒を超えず サイクル寿命が非常に長い---製品評価サイクルが25000000以上です。

ALD原子層堆積シリーズダイヤフラムバルブの特長：

超下のサイクル寿命

高速で行う■

Cv0.27■へ0.62

■熱アクチュエータ 温度200＆℃にまで; C（392度; F）

■電子アクチュエータポジションセンサオプションの

の超高純度用途316L VIM-VARステンレス鋼体に適しました■場合

■VCR＆REG;およびモジュラーチューブ突き合わせ溶接表面実装終端

ALDシリーズ：

膜

■エルジロイ＆REG;材料 高強度と耐食性■最適化 係属意匠特許超サイクル寿命

弁

■含む完全なシートデザイン

ペルフルオロ高純度グレードPFA ■ ■高いサイクル寿命■広い化学的適合性
■膨潤および汚染に対する優れた耐性能力
■高い整合性のバルブシール性能

ボディ

体が提供シール■超高サイクル寿命

■316L VIM-VARステンレス鋼体材料のための超高純度用途■完全掃引流路
■閉鎖領域最小限
■容易にパージする■流れを最大化
任意の加熱シリンダ用バルブと■取付穴

エフェクター

標準
高速■ 空気圧アクチュエータを繰り返し
バルブを開くために 5ms未満で完了することができ あるいは近い
■工場出荷時の流量調整弁は 正確な保証との間に配置された■ 一貫性を実行することができますCVは
は 任意の電子アクチュエータ■ - 位置センサは 弁の位置を確認するために使用することができる空気圧アクチュエータ
オプションの電磁パイロット弁 高速

<で行う電子制御■ > 耐熱性
■より均一に提供する
断熱
熱接続アプリケーションを含む■アクチュエータにバルブ本体から限界伝導性熱伝達を■：同じ特性とオプションがあり また 以下の特徴を有しますコールドスポットを減らすための体温
バルブを加熱するために必要な電力を大幅に削減
■加熱されたボディアプリケーションのためのアクチュエータ寿命を延ばす

詳細詳細な製品情報はお問い合わせください。

上海Beizhongはバルブ パイプ継手 ソレノイドバルブ センサーなどの輸入を専門としており 主なブランドはSwagelok Parker ASCO Kyowa Minebea NTSなどです。 。ようこそ 会社のホットライン：021-59742356