モデル

Zf-1000

Zf-1200

Zf-1400

Zf-1600

Zf-1800

Zf-2000

サイズの真空

チャンバー

・φ; 1000・回;

h1200ミリメートル

・φ; 1200・回;

h1500ミリメートル

・φ; 1400・回;

h1600ミリメートル

・φ; 1600・回;

h1800ミリメートル

・φ; 1800・回;

h2000ミリメートル

・φ; 2000・回;

h2200ミリメートル

evaporaterで

10キロワット

15キロワット

20キロワット

20キロワット

25kw

35キロワット

総電力

25kw

40キロワット

60kw

65kw

85キロワット

95kw

ultimatevacuum

8.0・回; 10-4pa

構造チャンバーの

垂直単/doubleドア, バック真空取得システム

パワー供給タイプ

パルスバイアス電源, マグネトロン電源直流電流を供給する,

 中周波マグネトロン電源を供給する

ポンプ- アウト時間

ための空気から5.0・回; 10-3Pa・ル;20分(無- 負荷)

材料チャンバーの

優れたステンレス製のチャンバー

真空買収

システム

またはpump+rootspump+mechanical分子拡散ポンプ

Pump+holdingポンプ 応じて選択することができ( the仕様

顧客・rsquo; の需要)

冷却system

ウォーター- 冷却循環系、 冷却水塔のまたは産業

冷却水機もneeded(whichはによって供給され需要者)

回転 スタンド

rotatings極秘にする

遊星 オートローテーションと周波数変換速度レギュレーション

 (制御と調節可能)

制御モード

統合された自動と手動操作モードがありplcタッチ画面

アラームと保護

、水のような条件bnormal故障または上- 電流または上-

電圧断線。 それを行っ保護測定することができ

インターロックの機能を持っており。

その他の技術的な

パラメータ

水圧・ge; 0.2mpa; 水温・ル; 25・度; c; 

ガスpressure0.5- 0.8mpaに

備考

設計された柔軟なとselectに応じて、 適切な機器

需要者へ・rsquo; 要件. 

真空チャンバーの範囲・φ; 0.5-3m, H: 0.5-3m。