項目名

銅cuターゲット4n5スパッタリングターゲット

純度

99.995％~99.9999%

形状

Flat/ロータリーターゲット、 あなたの要求に応じて

使用可能なサイズ

ラウンド: 25~300mm径、厚さ: 3~10mm

長方形の: 長まで1500ミリメートル

カスタマイズが可能です

証明書

:2008、 sgs、 第三のテストレポート

テクニクス

真空溶解、特許取得済みのサーモ- 機械的なプロセス

アプリケーション

コーティング加工業で広く利用されて

、: 太陽光発電appication。

B: 電子機器や半導体製造appication。

C: 装飾やコーティングappication。 等。

ng>品質規格ng>ng>(99.995％cu)ng>

要素

値(・ル; ppm)

要素

値(・ル; ppm)

p

1

ni

1

bi

1

pb

1

sb

1

sn

1

として

1

s

1

fe

2

o

20

zn

1

ng>品質規格ng>ng>(９９．９９９９％cu)ng>

要素

値(・ル; ppm)

要素

値(・ル; ppm)

ag

0.5

ni

0.05

アル

0.3

p

0.02

として

0.02

pb

0.01

bi

0.02

si

0.3

ca

0.1

sn

0.05

cd

0.1

番目の

0.001

cl

0.1

ti

0.3

cr

0.05

u

0.001

fe

0.1

v

0.05

ga

0.05

zn

0.2

k

0.02

c

20

li

0.02

s

5

mg

0.2

o

10

mn

0.05

n

1

na

0.02