仕様
Cuスパッタリングターゲット９９．９９９９％高純度銅ターゲット99.99991.高密度: 99％2.低不純物含有量
要素 | 値(・ル; ppm) | 要素 | 値(・ル; ppm) |
p | 1 | ni | 1 |
bi | 1 | pb | 1 |
sb | 1 | sn | 1 |
として | 1 | s | 1 |
fe | 2 | o | 20 |
zn | 1 |
|
|
要素 | 値(・ル; ppm) | 要素 | 値(・ル; ppm) |
ag | 0.5 | ni | 0.05 |
アル | 0.3 | p | 0.02 |
として | 0.02 | pb | 0.01 |
bi | 0.02 | si | 0.3 |
ca | 0.1 | sn | 0.05 |
cd | 0.1 | 番目の | 0.001 |
cl | 0.1 | ti | 0.3 |
cr | 0.05 | u | 0.001 |
fe | 0.1 | v | 0.05 |
ga | 0.05 | zn | 0.2 |
k | 0.02 | c | 20 |
li | 0.02 | s | 5 |
mg | 0.2 | o | 10 |
mn | 0.05 | n | 1 |
na | 0.02 |
|
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