製品情報
| 条件: 新しい | 原産地: 中国(本土) | 銘柄: lkbt |
| モデル番号: Dcld- 1000 | 電圧: 380v | 力(W): 50キロワット |
| 次元(L*W*H): 1000*1000mm | 重量: 4800キロ | 証明: ce |
| 保証: 1年 | 提供される売り上げ後のサービス: 利用できるエンジニア機械類を海外に整備するため |
仕様
サイズ: 1000回h1000mm2.独立したr& dチーム3.スペースを占有し: 回w3ml3m4.タイプ: 硬質クロムメッキ装置
1.製品の特徴
1)膜厚制御性と再現性よく、 することができる信頼性の高いシステムのプレ- メッキフィルムの厚さやスパッタリングが大きい均一な膜の表面;
2)の調製特別な膜の材料、 を使用することができさまざまな素材とハイブリッドフィルムスパッタリング、 化合物膜、 こともできますがスパッタに錫イミテーションゴールドフィルム。
3)硬質クロムめっきequimpent/クロームメッキのマシン
2.主な技術パラメータ
モデルとの主な技術パラメータvakia- dscシリーズ真空マグネトロンスパッタリングコーティング機 | ||||||
性能/model | Vakia- msc- 700 | Vakia- msc- 900 | Vakia- msc- 1000 | Vakia- msc- 1250 | Vakia- msc- 1400 | Vakia- msc- 1600 |
コーティングチャンバーのサイズ | 700*h900mm | 900*h1100mm | 1000*h1200mm | 1250*h1350mm | 1400*h1600mm | 1600*h1800mm |
電源のタイプ | フィラメント電源、 パルスバイアス電源、 電源dcマグネトロン、 中間周波数マグネトロン電源を供給する、 無線周波数マグネトロン電源を供給する、 リニアイオン化源 | |||||
真空チャンバーの構造 | 縦の二重扉、 垂直フロントドア構造、 リアエア排気システム | |||||
真空チャンバーの材料 | 高- 品質のステンレス鋼キャビティ | |||||
限界真空 | 6.0*10- 4pa | |||||
ポンプ- ダウンタイム( ノー- 負荷) | 大気中に8.0*10ポンプ-3>pa・ル; 15分 | |||||
真空取得システム | 拡散ポンプまたは分子ポンプ+ルーツポンプ+機械式ポンプ+ロータリーベーンポンプ( 特定の模型ももお客様のご要望に応じて設定) | |||||
コーティングモード | マグネトロンスパッタコーティング | |||||
フィルムタイプ | の金属膜、 反応性フィルム、 化合物膜、 多層フィルムと半導体膜 | |||||
マグネトロンターゲット型 | 長方形のマグネトロンターゲット、 円筒形のマグネトロンターゲットとツインマグネトロンターゲット | |||||
マグネトロンの供給電力とマグネトロンターゲットの数 | に合わせて選択して異なるコーティングプロセスとお客様のご要望 | |||||
バイアス電源 | 10kw/1ユニット | 20kw/1ユニット | 20kw/1ユニット | 30kw/1ユニット | 40kw/1ユニット | 50kw/1unit |
工作物のターンテーブルの回転モード | 遊星革命とオートローテーション、 可変周波数の速度調整( 制御可能なと調節可能な) | |||||
プロセスガス | 3- パスまたは4- パスプロセスガス流量制御およびディスプレイシステム、 選択的な自動ガス発生システム | |||||
冷却モード | 水の循環冷却モード、 または工業用水冷却水塔のクーラーや深い冷却システム。( お客様からご提供いただいた) | |||||
制御モード | Manual/自動統合モード、 タッチ画面操作、 またはコンピュータ制御plc | |||||
総電力 | 30kw | 35キロワット | 40キロワット | 50キロワット | 65kw | 80kw |
アラームおよび保護 | 水不足アラーム、 過電流、 過- 電圧、 開回路および他の異常な状態のポンプ、 ターゲットとし、 実行するというように関連する保護対策および電気インターロック機能 | |||||
設備エリア | W2m*l3m | W2.5m*l3.5m | W3m*l4m | W4m*l5m | W4.5m*l6m | W5m*l7m |
その他の技術的パラメータ | 水圧・ge; 0.2mpa、 水温・ル; 25・度; c、 空気の圧力: 0.5-0.8mpa | |||||
備考 | の具体的な構成を設計することができるaccordiコーティング装置 | |||||
