マルチゾーンスプリットチューブ炉でスライドレール

1. 1。  マックス1100、1300または1500 ℃用連続加熱
2. 2。  1、2、3、4、5、またはよりプログラマブル精度デジタル温度コントローラで30セグメント。
3. 3。  1--5別途制御加熱ゾーン:
4. 4。  高純度1200c石英管または1600cアルミナチューブ:
   
   
   1. 1。  200ミリメートルの長さ各加熱ゾーン
   2. 2。  400ミリメートル合計で加熱長さ
   3. 3。  250ミリメートル定中央温度加熱領域場合両方ゾーンた加熱されたでは同じ温度
   4. 4。  500 °c max温度不一致間二つのゾーンでthermoblocks間で
      
      
5. 5。  40ミリメートル外径x 1200ミリメートルidの長さ
   60ミリメートル外径x 1200ミリメートルidの長さ

80ミリメートル外径x 1200ミリメートルidの長さ

100ミリメートル外径x 1200ミリメートルidの長さ

1. 6。  入力電源: 110-440ボルトac入力、単相または三相でマックス。8kw
   
   

プラズマrfパワーサプライ

1. 1。  出力電力: 5-8000ワット調節可能で± 1%安定性。
2. 2。  rf周波数: 13.56 mhz ± 005%安定性。
3. 3。  反射電力: 200ワットマックス。
4. 4。  マッチング:自動
5. 5。  rf出力ポート: 50 Ω、n型、女性
6. 6。  ノイズ: < 50 db。
7. 7。  冷却:空気冷却。
8. 8。  電源: 208-240vac、単相、50/60 ｈｚ

防錆圧力ゲージ

1. 1。  3.8 × 10-5に1125トル測定範囲
2. 2。  防錆、ガス型独立した
3. 3。  高精度と再現性で雰囲気のための信頼性の高い大気圧力検出
4. 4。  高速大気検出排除待ち時間と短くプロセスサイクル
5. 5。  簡単に交換プラグ&プレイセンサ素子
6. 6。  写真をクリックするビューdetalスペック。

オイルレス真空ポンプステーションとバルブ

1. 1。  ファイファーの高速(226L/最小)オイルレスドライ真空ポンプ、10E-3トール制限は内部に設置ヘビーデューティ携帯カート
2. 2。  kf25アダプタとステンレス鋼管は接続間ポンプと管フランジ付き精密ボールバルブ用顧客のプラグアンドプレイ
   
   
3. 3。     15 × 10-2真空達成することができる内部処理チューブ

質量流量計&ガス混合ステーション

それはにインストールヘビーデューティ携帯カートがチューブ炉上に配置することがトップ。lcdタッチスクリーンは統合を提供する簡単制御にガス流量の各独立したチャンネル。

1. 1。  作業温度: 5〜45 ℃
2. 2。  マックス。圧力: 3 × 106 pa
3. 3。  精度: ± 5% fs
4. 4。  ライナー: ± (0.5-1.5) % fs。
5. 5。  重複精度: ± 2% fs。
6. 6。  制御範囲:
   1. 1。  コントローラ1: 0〜100 sccm
   2. 2。  コントローラ2: 1〜199 sccm
   3. 3。  コントローラ3: 1〜199 sccm
   4. 4。  コントローラ4: 1〜499 scc

加熱および冷却速度

• rs485ポートとソフトウェアがインストールされと許可リモート制御温度プロファイルによるpc (別売、顧客注文することができワンここから)
• を達成するためにmax. heating率、をユーザー必見予熱炉に所望の温度、その後スライドを炉にサンプルゾーンのチューブ
  
  
• を達成するためにマックス。冷却速度、プッシュを加熱された炉からホットゾーンにコールドゾーン

保証

一年間の限定保証生涯サポート.