製品情報

仕様

炭化けい素セラミックス ・半導体関連材料 ・高純度、高強度、高耐食性 ・半導体熱処理炉用炉心管、均熱管、ポート、フォークなど

半導体関連製品「TPSS 炭化けい素セラミックス」は、高純度炭化ケイ素を主成分とするTPSSは独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉心管をはじめ均熱管、ポート、フォークなどに応用されています。

【特長】
○TPSS表面のCVD膜はLP-CVD工程で生成するデポ膜（SiN、Si等）と近似した熱膨張率をもつ
○デポ膜剥離によるパーティクルが減少
○高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもつ
○半導体熱処理炉用炉心管をはじめ均熱管、ポート、フォークなどに応用されている
○精密加工技術を取り入れたウェーハポートには定評がある
○300mmウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献

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株式会社　渡辺商行

〒103-0022　東京都中央区日本橋室町4-2-16　楠和日本橋ビル

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